Implantace iontů

Z Enpedie
Verze z 11. 12. 2012, 21:03; Admin (diskuse | příspěvky)

(rozdíl) ← Starší verze | zobrazit aktuální verzi (rozdíl) | Novější verze → (rozdíl)
Přejít na: navigace, hledání

Implantace iontů je zabudovávání iontů uvnitř pevných látek po dopadu svazku urychlených iontů na jejich povrch. Důležitými pojmy souvisejícími s implantací iontů jsou typ, energie a dávka dopadajících iontů a jejich střední hloubka průniku (doběhu) a jejich hloubkový koncentrační profil implantovaných.