Axiální nehomogenita křemíkového ingotu

Z Enpedie
Přejít na: navigace, hledání

Axiální nehomogenita křemíkového krystalu (ARV) udává relativní axiální rozptyl rezistivity v křemíkovém ingotu po provedení NTD. Je počítána jako rozdíl maximální a minimální hodnoty rezistivity změřené po délce krystalu vztažený na minimum. Dosažení minimální axiální nehomogenity krystalu je možné v průběhu ozařování dosáhnout dvojím polohováním krystalu, kontinuálním posunem v axiálním směru nebo využitím stínění v ozařovacím kanálu.