EDS

Z Enpedie
Přejít na: navigace, hledání

Energiově disperzní spektroskopie (EDS, EDX, Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) je analytická metoda používaná na analýzu chemického (prvkového) složení vzorků. Metoda je založená na detekci charakteristického rentgenovského záření vysílaného atomy vzorku vybuzenými dopadem svazku elektronů o kinetických energiích od jednotek do stovek keV. Vybudit emisi charakteristického rentgenového záření u atomů vzorku lze také dopadem iontů (metoda PIXE) nebo rentgenovského záření (metoda XRF). Rentgenovské spektrum lze změřit více způsoby.

Pro EDS je charakteristické použití pevnolátkových křemíkových detektorů , ve kterých dopad rentgenovského fotonu vyvolá vznik elektron-děrových párů, jejichž počet a tím i výška pulzu je úměrná energii fotonu. Zesílením pulzů a jejich zpracováním se získá EDS spektrum, ze kterého lze identifikovat a kvantifikovat prvky těžší než Be přítomné ve vzorku o koncentraci od 1000 až 3000 ppm. Vedle bodové chemické analýzy, kdy signál je integrován z nějaké malé oblasti, lze elektronový svazek skenovat po přímce anebo ve dvou dimenzích a snímat pro každý pixel signál vybraného prvku.

Tímto způsobem lze vytvořit chemické lineární skeny nebo 2D chemické mapy povrchu o rozlišení 1 – 5 um pro lehké prvky a 0.2 – 1 um pro těžké prvky. EDS detektory jsou typicky součástí SEM a TEM.