Implantace iontů

Z Enpedie
Přejít na: navigace, hledání

Implantace iontů je zabudovávání iontů uvnitř pevných látek po dopadu svazku urychlených iontů na jejich povrch. Důležitými pojmy souvisejícími s implantací iontů jsou typ, energie a dávka dopadajících iontů a jejich střední hloubka průniku (doběhu) a jejich hloubkový koncentrační profil implantovaných.