Neutronové transmutační dopování křemíku

Z Enpedie
Přejít na: navigace, hledání

Neutronové transmutační dopování (NTD) křemíku je jeden ze způsobů přeměny monokrystalu křemíku do podoby využitelné jako polovodič. V průběhu tohoto procesu je vlivem neutronů přeměněna část jader 30Si přeměněna na žádoucí izotop 31P. Působením neutronů křemíkový ingot ztrácí svou rezistivitu. Při NTD jsou kladeny požadavky na konečnou rezistivitu a její axiální a radiální nehomogenitu.