Pozměněná vrstva

Z Enpedie
Přejít na: navigace, hledání

Pozměněná vrstva je tenká vrstva vytvořená po dostatečně dlouhé době odprašování povrchu vzorku, ve které jsou promíchány atomy obsažené ve svazku iontů dopadajících na povrch s atomy vzorku. Typická tloušťka pozměněné vrstvy je 5 nm až 20 nm. Ionty zaznamenané metodou dynamický SIMS pocházejí po ustavení rovnovážného stavu z pozměněné vrstvy.