WDS

Z Enpedie
Přejít na: navigace, hledání

Vlnově disperzní spektroskopie (WDS, WDX, Wave Dispersive X-Ray Spectroscopy) je analytická metoda používaná na analýzu chemického (prvkového) složení vzorků. Metoda je založená na detekci charakteristického rentgenovského záření vysílaného atomy vzorku vybuzenými dopadem svazku elektronů o kinetických energiích od jednotek do stovek keV. Vybudit emisi charakteristického rentgenového záření u atomů vzorku lze také dopadem iontů (metoda PIXE) nebo rentgenovského záření (metoda XRF). Rentgenovské spektrum lze změřit více způsoby.

Pro WDS je charakteristické vybírání vlnové délky emitovaného rentgenovského záření pomocí odrazu na atomárních rovinách monokrystalu na základě Braggova zákona. Vzorek, analyzační monokrystal a detektor iontů jsou umístěny na tzv. Rowlandově kružnici . Posunem monokrystalu s detektorem po této kružnici jsou postupně vybírány a zaznamenány signály pro jednotlivé vlnové délky a tím je získáno WDS spektrum. V porovnání s EDS má WDS podstatně nižší pozadí a tím i vyšší citlivost 100–300 ppm. Vedle bodové chemické analýzy, kdy signál je integrován z nějaké malé oblasti, lze elektronový svazek skenovat po přímce anebo ve dvou dimenzích a snímat pro každý pixel signál vybraného prvku. Tímto způsobem lze vytvořit chemické lineární skeny nebo 2D chemické mapy povrchu o rozlišení 1–5 um pro lehké prvky a 0,2–1 um pro těžké prvky. WDS detektory jsou typicky součástí SEM, na kterém jich může být umístěno několik s možností paralelního snímání více prvků.

Tyto přístroje se nazývají elektronovou mikrosondou.